1、现状
目前半导体行业,芯片或电路板蚀刻过程产生废水,包括废蚀刻液,洗水等。该废水中含有氨、银、铜等物质。国内加工厂大多采用将废水存放在密封的储罐内等待外单位拉走处理。外单位一般是经当地环保部门审批过有资质的回收公司,收费在4000-7000元/吨不等。
这部分废水处理一方面每年花费几百万的外委处理费用,另一方面也无法有效的回收利用其中的氨、铜、银等资源。
2、锦益创典工艺介绍
锦益创典多年从事于氨、及与氨络合贵金属的工艺及设备。现根据半导体行业水量小、银含量高等特点,做出专用于该蚀刻废水的标准化设备。该设备可以实现节省企业外委废水费用、回收氨、银、铜等有效资源的目的。
因为银、铜等贵金属与氨络合形成可溶解物溶解于水中,故通过使废水失氨,回收该贵金属。避免了直接蒸发结晶,导致贵金属进入废盐相,造成的损失。
以某半导体厂的蚀刻废水为例:
总量:1000吨/年,含氨1.5%,含银400ppm,铜100ppm,溶液PH10。若直接外委处理,此部分的花费在400-700万元/年。若采用本设备自行处理废水,并回收有价值资源,不仅节省了废水处理费用,还能产生200万以上的额外收益。具体明细如下:
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